Klaster Mikroelektroniki, Elektroniki i Fotoniki rozpoczął działalność w dniu 2023.04.04, co potwierdzono podpisaniem dokumentu założycielskiego „Porozumienia o współpracy w ramach Klastra Mikroelektroniki, Elektroniki i Fotoniki”.
Liderem klastra został CEZAMAT Politechniki Warszawskiej, a koordynatorem Polska Platforma Technologiczna Fotoniki.
Członkami-założycielami klastra zostało 51 podmiotów.
